Чистое помещение микроэлектроники, Прошу совета Опции

[ast]

Прошу вашего совета, уважаемое сообщество. Никогда не сталкивалась с чистыми помещениями. Посоветуйте, кто может и покритикуйте.
Помещение микроэлектроники, «чистое», площадь 288м2, объем 1000м3, Т=22-25С, влажность 55-60.
Тепловыделения 150кВт.
По ГОСТ 14644-4 –однонапрвленный поток воздуха с 0,3м/с. Получается 311000м3/час. Это 311 крат.
Установка приточно-вытяжная с рециркуляцией, охлаждением, с секцией орошения или пароувлажнителем, пока не знаю, фильтры 3,5,8 и 15 классов, 15 класса фильтр-в фальшпотолке или воздухораспределителе. Смущает очень сильно кратность и камера орошения. У заказчика, кроме того, обычный армстронг, если раздавать диффузорами с HEPA-фильтрами над оборудованием, будет ли это правильно, или настаивать, чтобы сделал фальшпотолок по всей площади помещения? Помогите, плиз!!!

[ast]

Прошу вашего совета, уважаемое сообщество. Никогда не сталкивалась с чистыми помещениями. Посоветуйте, кто может и покритикуйте.
Помещение микроэлектроники, «чистое», площадь 288м2, объем 1000м3, Т=22-25С, влажность 55-60.
Тепловыделения 150кВт.
По ГОСТ 14644-4 –однонапрвленный поток воздуха с 0,3м/с. Получается 311000м3/час. Это 311 крат.
Установка приточно-вытяжная с рециркуляцией, охлаждением, с секцией орошения или пароувлажнителем, пока не знаю, фильтры 3,5,8 и 15 классов, 15 класса фильтр-в фальшпотолке или воздухораспределителе. Смущает очень сильно кратность и камера орошения. У заказчика, кроме того, обычный армстронг, если раздавать диффузорами с HEPA-фильтрами над оборудованием, будет ли это правильно, или настаивать, чтобы сделал фальшпотолок по всей площади помещения? Помогите, плиз!!!

[ast]

Товарищи проектировщики, откликнитесь!!!

[v-david]

"У заказчика, кроме того, обычный армстронг", а "Помещение микроэлектроники, «чистое»"... это как? Что обсуждать-то?

Сообщение отредактировал v-david - 5.3.2014, 11:48

[zaharov63]

Я не проектировщик, но...
Не ясно, какой класс чистоты и что в ТЗ. Однонаправленный поток рекомендуется, как помнится, для классов 1-5. Возможно, есть рабочие зоны и вспомогательные... Ну и армстронг для чистого помещения - это нелепость.

[Ernestas]

это как? Что обсуждать-то?

Ну например:- Какими путями заказчики таких проектов находят своих проектировщиков?

[ast]

Класс по чистоте-4.

[polnoch_16]

А от куда такой огромный расход по воздуху?! 311000м3/час?!

[ast]

А от куда такой огромный расход по воздуху?! 311000м3/час?!

Ламинарный однонаправленный поток воздуха сверху-вниз со скоростью 0,3м/с, по всей площади помещения 288м2: 3600х288х0,3=311000м3/час. Заказчик утверждает, что вся площадь помещения должна быть с жестким режимом чистоты.
Заказчик, наконец, понял, что ему нужен фальшпотолок и согласен его сделать. Забор воздуха у пола, вдоль стен.

[Ernestas]

Забор воздуха у пола, вдоль стен.

И как вы добъётесь выполнения этого условия "ламинарный однонаправленный поток воздуха сверху-вниз со скоростью 0,3м/с, по всей площади помещения" ?

[v-david]

через дырочки в армстронге

[ast]

И как вы добъётесь выполнения этого условия "ламинарный однонаправленный поток воздуха сверху-вниз со скоростью 0,3м/с, по всей площади помещения" ?

Походу и правда не добьюсь, но Зак говорит, что фальшпол-это дорого. Надо его убедить в необходимости.

[Ernestas]

Походу и правда не добьюсь, но Зак говорит, что фальшпол-это дорого. Надо его убедить в необходимости.

Новый раунд убеждений зака ))
Успехов!
И это только начало )

[svoi]

Начинать надо с технолога, определиться с зонами, как-то странно все 288 м2 обдувать ламинарным потоком.

[daddym]

Ой какую сочную тему я упустил. На Руссом Радио был прекрасный совет на тему если у вас нету денег...
А так, очередная иллюстрация того, что наши микросхемы всегда будут самыми большими в мире.
Собственно резюме действительно - нет денег, не лезьте в высокие технологии. Или делайте все из фанеры и картона, все равно работать не будет, а денег на освоение останется больше.

[ast]

Ой какую сочную тему я упустил. На Руссом Радио был прекрасный совет на тему если у вас нету денег...
А так, очередная иллюстрация того, что наши микросхемы всегда будут самыми большими в мире.
Собственно резюме действительно - нет денег, не лезьте в высокие технологии. Или делайте все из фанеры и картона, все равно работать не будет, а денег на освоение останется больше.

Согласна полностью. В результате Зак прислал свою наборку приточки и вытяжек. Ну а я "умываю руки"...

[Trion]

Прошу вашего совета, уважаемое сообщество. Никогда не сталкивалась с чистыми помещениями. Посоветуйте, кто может и покритикуйте.

Почитайте правила подбора фильтров для чистых помещений http://www.envirco.com.ua/rules.html
Но перед этим узнайте у заказчика какой класс чистоты необходимо обеспечить.
По поводу кондиционирования и увлажнения читайте здесь http://www.envirco.com.ua/cleanrooms_hvac.html

[ast]

Спасибо все за ответы. Разобрались с заказчиком, он определил, наконец, класс чистоты-8. Рассчитала центр. кондиционер по I-D диаграмме с секцией орошения, двумя подогревами, охлаждением и эл. подогревом в переходный период. Фильтр конечный F9.

[zaharov63]

Фильтр конечный F9.

У нас для 8-го конечный F11.

[Frolkin]

Добрый день!

Для 8 класса чистоты закладывайте кратность не выше 20, без оборудовования технологического, больше и не требуется.
Касаемо пола, нет смысле делать фальшполы, поскольку они наиболее характерны для более высоких классов чистоты.
В данном случае речь идет о неоднонаправленном потоке воздуха, поэтому скорость на выходе из фильтра может быть выше, чем 0,3м/сек.
Вы в установке предусматриваете 3-х ступенчатую очистку воздуха, G4-F5-F9, и уже в потолке необходимо предусмотреть фильтр H11-14.
Но чем делать помещение такого класса чистоты, может имеет смысл предусмотреть локальные чистые зоны?

[ast]

У нас для 8-го конечный F11.

По какому ГОСТ конечный Н11? по ГОСТ Р 5239-2006, табл.4- конечный F9, хотя конечно этот ГОСТ для медицины. Хотя у Федотова последняя ступень очистки-Н11, но это по Швейцарским нормам.

[Astra tangens]

Ох, коллеги, где мои чистые помещения - ностальгия.)
Через пол кстати воздух не подают, только сверху. А вытягивают из нижней зоны.
А по поводу конечного фильтра - Н нужны в первую очередь для фарм и медицины, так как не пропускают микробы. Их даже в контролируемой зоне хорошо ставить. Для электроники не так актуально.
Но, в совсем микроэлектронике уже и улпа могут использоваться.
Тут как и везде - пляски начинаются после получения задания от технолога.

[schtorm]

[quote name='daddym' date='1.4.2014, 14:16' post='1007911']
Ой какую сочную тему я упустил. На Руссом Радио был прекрасный совет на тему если у вас нету денег...
А так, очередная иллюстрация того, что наши микросхемы всегда будут самыми большими в мире.
Собственно резюме действительно - нет денег, не лезьте в высокие технологии. Или делайте все из фанеры и картона, все равно работать не будет, а денег на освоение останется больше.
[/quote
Чем больше микросхема, тем незаметнее аэроз. частицы))))

[OldMan57]

для класс 8 (100.000) рекомендации ASHRE :
для помещения 3.4 м высотой воздухообмен 22 - 32 кратность
покрытие НЕРА потолка 4 - 7 %
наружний воздух для подпора (без учета местной вытяжки) 288 м2 - 5000 м3/ч
кондиционер нар воздуха лучше сделать отдельно, или по специальной схеме
посчитать можно тут www.hvac-calculator.net вроде правильно