Цитата(timmy @ 19.7.2015, 15:46)
технадзор усматривает, что ваш объект может быть отнесен к ОПО. И на основании этого просит вас принести заключение экспертизы о причастности вашего объекта к опасным. Понятно, что вам не хочется тратить деньги и время на непредвиденные осложнения, но вы даже здесь не хотите дать сведений о размерах установки и сути процесса. Возможно это просто маленькая печка с холодильником, а может и крупная установка... Дадите описание своей конструторской идеи (только без излюбленных в бауманке водопадов бессмысленных техницизмов) и может быть мы сможем технологически устранить все признаки ОПО.
Но ведь усматривать надо на оснолвании чего-то, а не просто хочу/не хочу. По количествам мы не тянем на ОПО. А у местного технадзора-арендодателя (для нас) есть свое газоснабжение с более высокими значениями по давлению и объемами и ни один из этих объектов не проходил экспертизы промышленной безопасности (в лучше случае обычную экспертизу проекта)
Местный технадзор беспокоит только раздел газоснабжение. Газы и месячное их потребление я указал ниже.
На токсичные и взрывоопасные газы (силан, фосфин, диборан, окись азота) будут стоять газовые шкафы с 2-мя 50-л баллонами внутри (производство Air Liquide, Praxair или что-то подобное).
От газовых шкафов по проекту идет коаксиальный трубопровод SS316l (шероховатость поверхности 0,18мкм), диаметр внутренней трубки 1/4", внешней трубки 1/2". По внутренне трубке подается соответсвующий газ для процесса, внешняя заполнена инертым газом (азотом). Внешняя трубка имеет возможность продувки за счет двух портов в начале и в конце линии (продувка осуществляется на соответсвующий скруббер), кроме того, к трубке подключены датчики давления. В случае выхода давления во внешней трубке за пределы указанного диапазона (ниже или выше) вся система автоматически вырубается нафиг (закрываются все клапана, прекращается подача газа).
По этой трубке газы приходят собственно в технологическое оборудование (длина каждого трубопровода в районе 150-200м)
Газы попадают в реактор оборудования, в котором находится подложка (кремн. пластина), которая находится между двумя электродами. При зажигании емкостного разряда между электродами, происходит разложение газовой смеси на электроны, ионы и активные радикалы. Радикалы и ионы, поступая на поверхность подложки, вступают в поверхностную реакцию с образованием аморфного или поликристаллического слоя требуемого материала.
Таким образом из вышеуказанных газов образуются бор- и фосфорсодержащие пленки на поверхности пластин. Отработанные газы удаляются из реактора высоковакуумным насосом на скруббер.
Мы в любом случае будем делать экспертизу своей части проекта. Просто в этой ситуации , молжет быть, стоит сразу делать экспертизу промышленной безопасности, чтобы не проводить ее впоследствии
Сообщение отредактировал offday - 19.7.2015, 18:54
ОПО
19.7.2015, 10:59
