Степень чистоты химикатов и газов Опции

[offday]

Уважаемые коллеги!

Подскажите, пожалуйста. В настоящее время в полупроводниках имеются следующие спецификации по химикатам:
MOS-VLSI-ULSI-SLSI-XLSI

Спецификации MOS и VLSI часто применяются по газам. В собственных спецификациях фирм-производителей для одной категории химикатов или газов часто есть небольшая разница. Какие есть нормативные документы, где нормируется количество микропримесей, их содержание итд для вышеуказанных спецификаций? Возможно у кого-то есть SEMI стандарт. Особенно сейчас меня интересует MOS спецификация.

[offday]

Уважаемые коллеги!

Подскажите, пожалуйста. В настоящее время в полупроводниках имеются следующие спецификации по химикатам:
MOS-VLSI-ULSI-SLSI-XLSI

Спецификации MOS и VLSI часто применяются по газам. В собственных спецификациях фирм-производителей для одной категории химикатов или газов часто есть небольшая разница. Какие есть нормативные документы, где нормируется количество микропримесей, их содержание итд для вышеуказанных спецификаций? Возможно у кого-то есть SEMI стандарт. Особенно сейчас меня интересует MOS спецификация.

[timmy]

Вот вы столько малопонятных терминов натыкали, что мне даже немного страшно интересоваться, чего вы спросить хотели. Я вот знаю, что химикаты бывают технические, чистые, химически чистые и особо чистые. А вот что такое ваши спецификации... так поди тож самое, только выпимши фиг скажешь.

[offday]

Вот вы столько малопонятных терминов натыкали, что мне даже немного страшно интересоваться, чего вы спросить хотели. Я вот знаю, что химикаты бывают технические, чистые, химически чистые и особо чистые. А вот что такое ваши спецификации... так поди тож самое, только выпимши фиг скажешь.

Это спецификации согласно SEMI стандартов. ОСЧ приблизительно соответствует MOS-спецификации, остальные-по чистоте выше. Содержание по микропримесям,как и в наших ТУ,прописаны в этих стандартах SEMI. Однако я нашел только на химикаты, а мне надо еще на газы.