Для чего при этом процессе нужна низкая влажность воздуха? И не путают ли технологи влажность и влагосодержание?

А нельзя ли чуть поподробнее о влажности? Где она требуется?
В моей деревне установки вакуумного напыления стояли у открытых окон летом. Ничего не происходило, даже в грозу.
Но это было в СССР, когда деревья были большими, и девки сговорчивы.
Я сам так напылял на монокристаллы гексогена.

Напыление присходит в постоянном эл.статическом поле, 2...5 кВ на электродах. Боятся пробоя напряжения по гермовводам на корпус камеры + перепут терминов не исключен.

Как правило, высокое в самих же установках и получают.
....Не знаю случаев пробоя во воздуху, например, телевизоров, разве что запыленных.

Естественно, не с Братской ГЭС тяну-то. Угу, в каком углу установки получают высокое, и где используют?
Вот у самую точку и попали, как в телевизоре, и по пыли на гермовводах.
А хотите загадку про железяку в теме?