Уважаемые Коллеги, Строим завод по производству солнечных модулей. Есть цех эпитаксиального роста пленок. площадь 5000кв.м. Класс - ИСО8. В цехе расположены установки эпитаксиального роста в которых осаждение ведется из газовой фазы, содержащей силан, водород и пр. Газы подводятся к установкам с помощью двухстенных нерж. труб. Цех оснащен локальными вытяжками и систьемой газоанализаторов. Полностью аналогичные производства существуют в Европе (Швейцария, Греция, Германия...). Там аналогичные цеха оснащены вентиляцией с рециркуляцией. Проектировщик, тем не менее, запроектировал вентиляцию этого цеха - с рекуперацией, ссылаясь на СНиП 41-01-2003, п. 7.4.4., в котором написано, что рециркуляция не допускается "из помещений, в которых максимальный расход наружного воздуха определяется массой выделяемых вредных веществ 1-го и 2-го классов опасности". Это на порядок дороже рециркуляции. Сталкивался ли кто-нибудь с подобными проблемами?
|