Для производства полупроводниковых приборов строится чистая комната со всеми необходимыми инженерными системами. Технологический процесс называется CVD (химическое осаждение из газовой фазы). В процессе участвуют SiH4 (силан, месячное потребление 50 кг), PH3 (фосфин, месячное потребление 40кг), B2H6 (диборан, месячное потребление 40кг), в процессе также будут учавствовать C2F6 (фреон), аргон, кислород, сжатый воздух. Макс давление во всех тлиниях не более 10 бар, диаметры не более дюйма (расход кислорода и аргона макимум 300-400 кг в месяц)

Местный технадзор (Гос Унитар Предприятие, на котором мы арендуем территорию) требует проведения экспертизы промышленной безопасности части проекта, касающейся горючих/взрывоопасных газов (фосфин, силан, диборан)просто на основании наличия в проекте. Я просмотрел требования ФЗ и не нашел причины, по которой можно отнести объект к ОПО. Возможно, имеется ввиду наличие сосудов под давлением (газовые баллоны макс 50л/200 бар)

Подскажите, пожалуйста, насколько правомерно подобное т ребование местного технадзора и чем аргументировать правильный ответ
единственное, что расстраивает, это пункт в ФЗ, о том что к ОПО относят объекты, на которых:
-используется оборудование, работающее под избыточным давлением более 0,07 мегапаскаля
а) пара, газа (в газообразном, сжиженном состоянии);

достаточно этого для необходимости проведения экспертизы промышленной безопасности и проекта и регистрации ОПО?

технадзор усматривает, что ваш объект может быть отнесен к ОПО. И на основании этого просит вас принести заключение экспертизы о причастности вашего объекта к опасным. Понятно, что вам не хочется тратить деньги и время на непредвиденные осложнения, но вы даже здесь не хотите дать сведений о размерах установки и сути процесса. Возможно это просто маленькая печка с холодильником, а может и крупная установка... Дадите описание своей конструторской идеи (только без излюбленных в бауманке водопадов бессмысленных техницизмов) и может быть мы сможем технологически устранить все признаки ОПО.

Но ведь усматривать надо на оснолвании чего-то, а не просто хочу/не хочу. По количествам мы не тянем на ОПО. А у местного технадзора-арендодателя (для нас) есть свое газоснабжение с более высокими значениями по давлению и объемами и ни один из этих объектов не проходил экспертизы промышленной безопасности (в лучше случае обычную экспертизу проекта)

Местный технадзор беспокоит только раздел газоснабжение. Газы и месячное их потребление я указал ниже.
На токсичные и взрывоопасные газы (силан, фосфин, диборан, окись азота) будут стоять газовые шкафы с 2-мя 50-л баллонами внутри (производство Air Liquide, Praxair или что-то подобное).
От газовых шкафов по проекту идет коаксиальный трубопровод SS316l (шероховатость поверхности 0,18мкм), диаметр внутренней трубки 1/4", внешней трубки 1/2". По внутренне трубке подается соответсвующий газ для процесса, внешняя заполнена инертым газом (азотом). Внешняя трубка имеет возможность продувки за счет двух портов в начале и в конце линии (продувка осуществляется на соответсвующий скруббер), кроме того, к трубке подключены датчики давления. В случае выхода давления во внешней трубке за пределы указанного диапазона (ниже или выше) вся система автоматически вырубается нафиг (закрываются все клапана, прекращается подача газа).
По этой трубке газы приходят собственно в технологическое оборудование (длина каждого трубопровода в районе 150-200м)
Газы попадают в реактор оборудования, в котором находится подложка (кремн. пластина), которая находится между двумя электродами. При зажигании емкостного разряда между электродами, происходит разложение газовой смеси на электроны, ионы и активные радикалы. Радикалы и ионы, поступая на поверхность подложки, вступают в поверхностную реакцию с образованием аморфного или поликристаллического слоя требуемого материала.
Таким образом из вышеуказанных газов образуются бор- и фосфорсодержащие пленки на поверхности пластин. Отработанные газы удаляются из реактора высоковакуумным насосом на скруббер.

Мы в любом случае будем делать экспертизу своей части проекта. Просто в этой ситуации , молжет быть, стоит сразу делать экспертизу промышленной безопасности, чтобы не проводить ее впоследствии

Я же просил: без конструкторских заморочек. Я правильно понимаю, что это просто горелка? Ну пусть горелка в камере. Из ваших пояснений мало что понятно... газы у вас редуцируются? Что мешает рампу с баллонами поставить на улице? Эскиз бы какой прикрутили к своим описаниям чтоли...

По сути просто горелка в камере. Газы редуцируются в закрытых газовых шкафах со всей соответсвующей предохранительной арматурой и системой автоматики, отключающей все при нарушении заданного режима.
Газовые рампы будут стоять для относительно инертных O2, N2, C2F6.

пример газобалонного шкафа можно посмотреть здесь http://www.eltochpribor.ru/pdf/Data_GasCabinet2AT1.pdf
(у нас будет еще и подороже)